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日本富士金FCS-P系列（壓力式流量計(jì)）
發(fā)布時(shí)間：2023-05-17
| MFC（流量計(jì)） |
FCS-P系列（壓力式流量計(jì)） FCS即流量控制系統(tǒng)（Flow Control System），是專(zhuān)為確立近年來(lái)半導(dǎo) 體制程中，越來(lái)越受重視的蝕刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的穩(wěn)定 性、再現(xiàn)性而開(kāi)發(fā)出來(lái)的產(chǎn)品?；静僮髟碛袆e于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計(jì)， 這是一款經(jīng)由壓力控制，從而達(dá)到高精度流量控制目標(biāo)的嶄新產(chǎn)品。FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動(dòng)或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素，提 供給客戶(hù)無(wú)限制且穩(wěn)定的流量控制。 |
| 產(chǎn)品特性 |
| ●結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 FCS內(nèi)部結(jié)構(gòu)相當(dāng)簡(jiǎn)單，且是個(gè)完全零死角的結(jié)構(gòu)。 ●卓越的壓力變動(dòng)特性 上游壓力變動(dòng)時(shí)，質(zhì)量流量控制器輸出值會(huì)呈現(xiàn)大幅度變化，但FCS則完全沒(méi)有任何變動(dòng)。 ●采用流量參數(shù)（FLOW FACTOR） 采用流量參數(shù)，即可利用N2校正，是FCS對(duì)應(yīng)各種氣體。 ●卓越的精準(zhǔn)度 全流量10%以上時(shí)，精準(zhǔn)度在設(shè)定點(diǎn)的±1.0%以下，反之則為全流量的±0.1%以下，精準(zhǔn)度相當(dāng)高。 ●搭載流量異常診斷功能 ●反應(yīng)靈敏 ●設(shè)置位置不受限（MOUNT POSITION FREE） ●對(duì)應(yīng)DEVICE NET 經(jīng)第三機(jī)構(gòu)測(cè)試單位ODVA的測(cè)試，完全通過(guò)ODVA測(cè)試軟體VerA-14的測(cè)試 |
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