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M-341DG-1D-VCR   M-342DG-13-VC8

日本CANON佳能真空計M-341DG-1D-VCR

電容式壓力計M-342DG是一種膜片式壓力計，可實現(xiàn)精 確、穩(wěn)定的壓力測量，并具有*小的零點調(diào)整。

這是使用小型硅MEMS芯片作為壓力傳感器單元來實現(xiàn)的，以*小化來自外部環(huán)境的影響，例如溫度、振動和大氣壓力的變化。

日本CANON佳能真空計M-342DG-11-N16

特征

高精度、穩(wěn)定的壓力測量

?卓越的零點穩(wěn)定性。

?具有低的溫度依賴性，在不需要溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的情況下提供優(yōu)異的穩(wěn)定性。

調(diào)整機制。

?卓越的抗振動噪音性能。

結(jié)構(gòu)緊湊，功耗低

?200g，W46mm×H49mm×L70mm緊湊，重量輕。*1

?功耗0.5W。

*1:聯(lián)軸器尺寸和重量NW16規(guī)格

應(yīng)用

除了半導(dǎo)體制造設(shè)備、面板顯示器制造設(shè)備和其他真空設(shè)備外，還支持廣泛的通用行業(yè)應(yīng)用，如醫(yī)療和食品。*2

*2：不適用于使用腐蝕性氣體的應(yīng)用場合。

詳情請咨詢我們。

規(guī)格

M-342DG型

-1D-1N-11-12-13

滿刻度壓力（Pa）13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k

（托）0.1 1 10 100 1000

準確度（讀數(shù)的%）

0.20（23℃時）

零溫度

漂移系數(shù)（F.S./℃的%）0.01 0.005 0.002

量程溫度

漂移系數(shù)（讀數(shù)%/℃）0.01 0.005

分辨率（滿刻度的%）0.01 0.005

*低讀數(shù)（滿刻度的%）0.01

的*低建議壓力

讀數(shù)（滿刻度的%）0.05

的*低建議壓力

控制（滿刻度的%）0.5

響應(yīng)時間（毫秒）100 30

壓力極限（Pa）200 kPa（絕 對壓力）但是，對于M-342DG-1D（對于NW16和NW25，內(nèi)部區(qū)域不得處于

正壓）

輸入電壓（VDC）

+13.5 - 26.4

功耗（W）0.5或更低

信號輸出（VDC）0至10

工作溫度（℃）0-50

儲存溫度（℃）

-20至70（不工作）

*大電纜長度（m）

100 (0.3?)

零點調(diào)整方法

遙控輸入按鈕開關(guān)

連接器類型

D-sub 9針外螺紋（配對螺釘：#4-40英寸）

暴露在真空中的材料

硅，玻璃，SUS304，sus316，氟橡膠

法蘭形狀

NW16、NW25、8-VCR、φ70ICF

符合CE標志、RoHS、IP40

安全出口管制條例不適用

陳列

M-601GC（1ch）、M-603GC（3c）

尺寸

電容隔膜計M-342DG

Parts Number

Parts Number Model Description Remarks Code

0160-12049 M-341DG-1D-N16 Capacitance Gauge (13.3Pa) Coupling: NW16 22735

0160-12057 M-341DG-1D-N25 Coupling: NW25 22736

0160-12065 M-341DG-1D-C70 Coupling: φ70ICF 22737

0160-12073 M-341DG-1D-VCR Coupling: 8-VCR female 22738

0160-11645 M-341DG-1N-N16 Capacitance Gauge (133Pa) Coupling: NW16 22710

0160-11653 M-341DG-1N-N25 Coupling: NW25 22711

0160-11661 M-342DG-1N-C70 Coupling: φ70ICF 22712

0160-11679 M-342DG-1N-VCR Coupling: 8-VCR female 22713

0160-11459 M-342DG-11-N16 Capacitance Gauge (1.33kPa) Coupling: NW16 22715

0160-11467 M-342DG-11-N25 Coupling: NW25 22716

0160-11475 M-342DG-11-C70 Coupling: φ70ICF 22717

0160-11483 M-342DG-11-VC8 Coupling: 8-VCR female 22718

0160-11140 M-342DG-12-N16 Capacitance Gauge (13.3kPa) Coupling: NW16 22720

0160-11158 M-342DG-12-N25 Coupling: NW25 22721

0160-11077 M-342DG-12-C70 Coupling: φ70ICF 22722

0160-11166 M-342DG-12-VC8 Coupling: 8-VCR female 22723

0160-11093 M-342DG-13-N16 Capacitance Gauge (133kPa) Coupling: NW16 22725

0160-11108 M-342DG-13-N25 Coupling: NW25 22726

0160-11116 M-342DG-13-C70 Coupling: φ70ICF 22727

0160-11124 M-342DG-13-VC8 Coupling: 8-VCR female 22728